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ES612 ESD测试仪 晶圆芯片级 HBM, HMM, MM

型号:ES612-20K

·九游会·产品时间:2023-11-13

简要描述:

ES612 ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM)
ES612 ESD测试仪是2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

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详细介绍

ES612 ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。

特点

  • 低寄生参数,高质量脉冲

  • 可定制,可扩展

  • 可搭配探针台进行晶圆级测试

  • 外置可选配的自动故障检测模块

  • 触摸控制面板

  • 可固件升级

  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件

  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
     

ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。
 

 

  • 低寄生参数,具有高质量脉冲
  • 可定制,可扩展
  • 可搭配探针台进行晶圆级测试
  • 外置可选配的自动故障检测模块
  • 触摸控制面板
  • 可固件升级
  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
     
  • 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
  • HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
  • HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2009
  • MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2012
     
  • ES612 控制主机

    参数ES612-2KES612-8KES612-12KES612-20K单位
    输出电压± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
    小输出电压步长1V (500V以内)

     

    10V (2 kV以内)

    1V (500V以内)

     

    10V (8 kV以内)

    1V (500V以内)

     

    10V (12 kV以内)

    1V (500V以内)

     

    10V (20 kV以内)

    V,

     

    kV

    输出电压精度 ± 1 % 或 ± 5 V%
    尺寸347 X 300 X 145mm
    重量5667kg
    电压、电流测量电压、电流测量无源探头
    支持的示波器Keysight, Tektronix,Lecory主流型号示波器
    支持的SMUKeithley 24xx/26xx 系列

    外置人体模型(HBM )波形发生模块

    参数HBM-2KHBM -8KHBM -12KHBM -20K单位
    输出电压± 10 ~ 2000± 10 ~ 8000± 10 ~ 12000± 10 ~ 20000V
    放电RC值C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% 
    短路峰值电流Ips0.67A ± 10 % per kVns
    短负荷上升时间Trs2 < Trs < 10ns
    短负荷衰减时间Tds1300 < Tds < 1700ns
    短负荷振铃Irs< 15% of Ips 
    500Ω负载峰值电流IprIpr/Ips ≥ 63% 
    500Ω负载上升时间Trr5 < Trr < 25ns

    外置人体-金属模型(HMM )波形发生模块

    (根据ANSI/ESD SP5.6-2009)

    参数HMM-24K单位备注
    HMM峰值电流90A3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %

     

    IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)

    HMM电流@ 30 ns48A≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30%  )
    HMM电流@ 60 ns24A≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30%  )
     
    编号型号描述
     ES612 ESD测试仪
    1.1ES612ES612 ESD 测试仪控制主机, 大输出电压 8 kV / 20 kV,

     

    RS232 SCPI 通讯端口

    1.2ES612-HBM人体模型波形发生模块(2管脚)
    1.3ES612-HMM人体-金属模型波形发生模块(2管脚)
    1.4ES612-MM机器模型波形发生模块(2管脚)
    其他配件选项
    2.1ES62x-PC-HBM电脑(预装脉冲及失效等级自动检测软件)
    2.2KSMU2400数字源表, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于被测器件DC损伤检测)
    2.3ES62X-CMPS简易手动探针台
    2.4ES62X-XYZM-TIMXYZ 微动探针座 – XYZ 行程500 mils,步进0.01mm
    2.5ES62X-XYZM-PAAPCB 探针臂套件,配备电压测量探头
    2.6ES62X-XYZM-GAA接地探针臂套件
    2.7HBM-TC0.30.3 mm Pitch Test Clip
    2.8HBM-TC2.52.54 mm Pitch Test Clip
    2.9ES62X-XYZM-PP048048 型号弹簧探针
    2.10ES62X-XYZM-PP075075 型号弹簧探针
    2.11ES62X-XYZM-TN1钨钢针

 


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