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型号:ES612-20K
·九游会·产品时间:2023-11-13
简要描述:
ES612 ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM)ES612 ESD测试仪是2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。
ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。
ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。
低寄生参数,高质量脉冲
可定制,可扩展
可搭配探针台进行晶圆级测试
外置可选配的自动故障检测模块
触摸控制面板
可固件升级
可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
可选配的脉冲IV和DC IV表征功能
ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。
ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。
ES612 控制主机
参数 | ES612-2K | ES612-8K | ES612-12K | ES612-20K | 单位 |
输出电压 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
小输出电压步长 | 1V (500V以内)
10V (2 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (8 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (12 kV以内) | 1V (500V以内)
10V (20 kV以内) | V,
kV |
输出电压精度 | ± 1 % 或 ± 5 V | % | |||
尺寸 | 347 X 300 X 145 | mm | |||
重量 | 5 | 6 | 6 | 7 | kg |
电压、电流测量 | 电压、电流测量无源探头 | ||||
支持的示波器 | Keysight, Tektronix,Lecory主流型号示波器 | ||||
支持的SMU | Keithley 24xx/26xx 系列 |
外置人体模型(HBM )波形发生模块
参数 | HBM-2K | HBM -8K | HBM -12K | HBM -20K | 单位 |
输出电压 | ± 10 ~ 2000 | ± 10 ~ 8000 | ± 10 ~ 12000 | ± 10 ~ 20000 | V |
放电RC值 | C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1% | ||||
短路峰值电流Ips | 0.67A ± 10 % per kV | ns | |||
短负荷上升时间Trs | 2 < Trs < 10 | ns | |||
短负荷衰减时间Tds | 1300 < Tds < 1700 | ns | |||
短负荷振铃Irs | < 15% of Ips | ||||
500Ω负载峰值电流Ipr | Ipr/Ips ≥ 63% | ||||
500Ω负载上升时间Trr | 5 < Trr < 25 | ns |
外置人体-金属模型(HMM )波形发生模块
(根据ANSI/ESD SP5.6-2009)
参数 | HMM-24K | 单位 | 备注 |
HMM峰值电流 | 90 | A | 3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %
IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF) |
HMM电流@ 30 ns | 48 | A | ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) |
HMM电流@ 60 ns | 24 | A | ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% ) |
编号 | 型号 | 描述 |
ES612 ESD测试仪 | ||
1.1 | ES612 | ES612 ESD 测试仪控制主机, 大输出电压 8 kV / 20 kV,
RS232 SCPI 通讯端口 |
1.2 | ES612-HBM | 人体模型波形发生模块(2管脚) |
1.3 | ES612-HMM | 人体-金属模型波形发生模块(2管脚) |
1.4 | ES612-MM | 机器模型波形发生模块(2管脚) |
其他配件选项 | ||
2.1 | ES62x-PC-HBM | 电脑(预装脉冲及失效等级自动检测软件) |
2.2 | KSMU2400 | 数字源表, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于被测器件DC损伤检测) |
2.3 | ES62X-CMPS | 简易手动探针台 |
2.4 | ES62X-XYZM-TIM | XYZ 微动探针座 – XYZ 行程500 mils,步进0.01mm |
2.5 | ES62X-XYZM-PAA | PCB 探针臂套件,配备电压测量探头 |
2.6 | ES62X-XYZM-GAA | 接地探针臂套件 |
2.7 | HBM-TC0.3 | 0.3 mm Pitch Test Clip |
2.8 | HBM-TC2.5 | 2.54 mm Pitch Test Clip |
2.9 | ES62X-XYZM-PP048 | 048 型号弹簧探针 |
2.10 | ES62X-XYZM-PP075 | 075 型号弹簧探针 |
2.11 | ES62X-XYZM-TN1 | 钨钢针 |
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